ピエゾステージ
各種ナノポジショニングシステム
多種多様な機種をラインナップ
Mad City Labs(MCL)社のピエゾステージ／ピエゾナノポジショニングシステムやマイクロポジショニングシステムなど各種システムに多種多様な機種をご用意しております。各種製品の詳細はMCL社サイトにてご参照ください。
■MCL社ピエゾステージ／ナノポジショニング＋マイクロポジショニング応用の新製品MadAFM 6515
MadAFM | Sample scanning Atomic Force Microscope (AFM) (madcitylabs.com)
■MCL社ピエゾステージ／ナノポジショニングシステムのアプリケーション例:
Applications for Nanopositioning Stages, Nanopositioners, Piezo Stages | Mad City Labs
■MCL社ピエゾステージ／ナノポジショニングシステム
応用製品に関するニュース:
Mad City Labs | Nanopositioning Stages, Nanopositioners, Piezo Stages, Nanopositioning Systems
■MCL社高精度マイクロステージMMP シリーズ:
MMP Series (madcitylabs.com)
PicoQ® Position Sensor Technology とは？
MCL社のピエゾステージ／ピエゾナノポジショニングシステムに、MCL社独自のPicoQ®Position Sensor Technology (位置検出技術)を応用しております。
MCL社は絶対位置計測に温度補償半導体ピエゾ抵抗回路網を使用しています。このセンシングシステムは、通常、0.05%よりも優れた位置直線性を達成し、位置ノイズをピコメーター領域(1 picometer= 0.001 nm)にまで高める性能を発揮することができます。
| MCL社 PicoQ® Position Sensor Technology の利点 |
|---|
| Direct metrology position sensor (直接計測位置センサーであること) |
| Lowest position noise (最下限の位置ノイズ) |
| Ultra-stable at low frequencies (低周波数領域における超安定性) |
| Temperature compensated (温度補償) |
| High accuracy and repeatability (高精度かつ高再現性) |
| Wide bandwidth (広帯域幅) |
| High speed (高速応答性) |
| High resolution without bandwidth reduction (帯域幅減少もない高分解能) |
PicoQ® Sensors are Superior to Capacitive Sensors
ピコQ®センサーの極めて高い有意性
Mad City Labs(MCL)社独自のPicoQ®センサー技術は、ポジションノイズを最小限に抑え、業界屈指の位置決め精度を誇ります。MCL社の独自の高性能ピエゾステージは、ナノポジショニングの領域を超えてピコポジショニングに移行し、以前の競合他社製品を乗り越えました。従来のキャパシティブセンサー方式ではピコメーター領域の分解能に達しません。
Nano-METZの位置ノイズパワースペクトルを以下に示します。PicoQ®センサーを持つピエゾステージ／ピエゾナノポジショナーは、フェムトメーター/√Hz範囲のノイズフロアとピコメータ領域の位置決め精度に達します。 また、Nano-HS3Mは、MCL社24bit ADCでセンサーを測定、MCL社USB 20bit DACにて20 picometer p-p正弦波を実行するプロットを示します。 DACの最小ビットは5 picometerで、明らかに高い分解能があります。従来のキャパシティブセンサー方式ではこのレベルでの測定は困難です。
Nano-METZの位置ノイズスペクトルは、
400fm/√Hzの位置ノイズフロア低周波領域にてフラットな応答を示します。
Nano-HS3MのZ軸で、
入力 20pm p-p 0.5Hz正弦波、
MCL社USB Interface 20bit DAC、
同じく24bit ADC経由にて測定。
取得レートは500Hz、
防振台等の環境条件。
【下記に PicoQ®センサー技術の実証例を示します】
The Power of PicoQ®: Ultra-Low Position Noise
Read more about measuring inherent position noise of nanopositioning systems with PicoQ® sensor technology.
The Power of PicoQ®: Outstanding Accuracy
Read more about the impressive accuracy and linearity achieved by Mad City Labs nanopositioning systems, verified by NIST-traceable interferometer.
The Power of PicoQ®: Extended Cable Lengths Without Performance Loss
Read about the comparison of PicoQ® sensor technology to capacitive sensors.
The Power of PicoQ®: No Performance Loss in Vacuum
Read about the comparison of PicoQ® sensor technology to capacitive sensors in UHV.
Mad City Labs 社サイトには、同社製品が用いられた製品の論文検索リンクがございます。
例えば、Nano-LP シリーズのサイトでは、Additional Informationの下方にそのリンク設定があり、
Journals／Authors等の参照が可能です。リンク内容は、適宜、MCL社で更新されます。
動画ではMad City Labsがピコメートル 1 ステップのコマンド操作と解決の課題について説明しております。
■ピエゾステージ／ピエゾナノポジショナー
Mad City Labs(MCL)社のピエゾステージ／ピエゾナノポジショニングシステムは、サブナノメータの精度をもって高安定性で動作し保持します。ピエゾナノポジショナーのアプリケーションは、高解像顕微鏡、高速共焦点イメージング、AFM、NSOM, SPM、オプティカルトラッピング、ファイバー位置決め、一分子スベクトロスコピー、一分子／一粒子トラッキング、高分解能光学アライメント、ナノスコピーそしてリソグラフ等多岐にわたります。
■汎用顕微鏡用途
ナノスケールの位置決め動作と安定性は高分解能イメージング用途では研究用顕微鏡の礎石です。お客様独自のアプリケーション向けの開発・改良を含めてMad City Labs (MCL)社はお客様のお役に立つピエゾナノポジショニングシステム、マイクロポジショニングシステム、そして高安定なシステムをご提供します。
■Single Molecule Microscopy (RM21 顕微鏡シリーズ)
ナノスケールの位置決め動作と安定性は一分子イメージング用途では研究用顕微鏡の礎石です。Mad City Labs(MCL)社は、光学コンポーネントとの統合を簡便にしたモジュラー型顕微鏡プラットフォーム(ピエゾステージ／ナノポシジョニング+マイクロポジショニングシステム)を開発し、お客様の多様な用途に適応できる装置を開発／改良することで全体の統合と簡素化を図り、より有用なピエゾナノポシジョニングシステムを開発しております。
■AFM ＆ NSOM
高分解能AFMやNSOM は高い分解能、再現性、そして安定性のあるピエゾステージ／ビエゾナノポジショニングシステムを必要とします。お客様独自のアプリケーションに適応できる装置を開発／改良することで統合の簡素化を図り、お客様のお役に立つ位置決めシステムを開発して参りました。経験豊富なMCL社は、皆さまのアプリケーションに適切な解決策をもってお役に立ちます。
■真空対応 UHV ピエゾステージ
Mad City Labs(MCL)社の標準タイプのピエゾステージは、もし焼き入れが不要の場合、10⁻⁸ Torrまでの真空用途向けが可能です。多くのUHVアプリケーションはカスタム設計対応が必要となります。MCL社は経験豊富なUHV装置の専門家を有しており、ピエゾナノポジショニング及びマイクロポジショニングシステムの真空用途向けのカスタム仕様が可能です。
■ナノメーター計測
Nano-Gauge™
Mad City Labs(MCL)社ナノゲージは25mm(1インチ)のフルスケールで1.5nm(0.6micro-inch)に至る分解能をもつ超高精度な一軸の変位計測機です。使い易さと小型化を両立させたMCL社Nano-Gaugeは煩雑な準備過程を経ることなく、多様な精度計測場面に適合します。